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HFJC600-II型磁控濺射真空鍍膜機
真空設(shè)備
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HFJC600-II型磁控濺射真空鍍膜機

(應用于各種電學膜、金屬膜和SiO2膜等的設(shè)備)

真空室:臥式頂蓋升降。內(nèi)腔Φ600×700mm,,304不銹鋼

真空系統(tǒng):直聯(lián)泵+F250分子泵

極限真空:3.0E-4pa

恢復真空:大氣至4.0E-3pa≤15min

烘烤:鹵鎢燈,最高溫度350℃,可調(diào)可控

靶源:4個Φ80靶,DCRF13.56MHz)電源,1.5KW可調(diào)

充氣系統(tǒng):2路流量控制

工件機構(gòu):公自轉(zhuǎn)機構(gòu),3個Φ70樣品盤;公轉(zhuǎn)速度1-30rpm,自轉(zhuǎn)1-120rpm,可控可調(diào)

操作系統(tǒng):可自動和手動操作,工藝參數(shù)設(shè)置,完善的水電檢測報警功能

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